SM2400 - 流量センサー IFM - 無料のユーザーマニュアル

使用説明書 SM2400 IFM

取扱説明書

電磁誘導式流体センサ

SM2xxx

SM9xxx

SM0510

目次

1 はじめに（注意）.... 4

1.1 表記の説明 4
1.2 警告 4

2 安全の為の注意 5

2.1 サイバーセキュリティ 5

3 運搬·取扱·保管.... 6

4 製品の用途 7

4.1 アプリケーション 7
4.2 SM0510およびSM2130の注意事項...... 7

5 機能 8

5.1 出力OUT1で選択可能な機能.... 8
5.2 出力OUT2で選択可能な機能.... 8
5.3 IO-Link 8

6 取付方法.... 10

6.1 压力接続口 10
6.2 障害物 11
6.3 取付位置.... 12

7 接続方法.... 14

8 操作部と表示部 16

9 メニュー 18

9.1 メインメニューとサブメニュー 18

10 設定 24

11 パラメータ設定 25

11.1 センサキーからのパラメータ設定 25
11.2 IO-Linkからのパラメータ設定.... 26
11.3 出力設定.... 26

11.3.1 限界値監視用のスイッチング信号 26
11.3.2 アナログ信号 28
11.3.3 周波数出力 29
11.3.4 積算流量の監視（積算機能） 30

11.3.4.1 スイッチング信号による積算流量の監視 31

11.3.4.2 パルス信号による積算流量の監視 32

11.3.5 空検出のスイッチング信号 32

11.4 アプリケーション設定 33

11.4.1 標準測定单位 33

11.4.2 出力のエラー動作 34

11.4.3 起動遲延時間 34

11.4.4 スイッチング出力の出力極性 36

11.4.5 ダンピング 37

11.4.6 低流量カットオフ 37

11.4.7 流れの方向 38

11.4.8 積算流量のカウント設定 38

11.4.9 積算リセット 39

11.4.10 ロック/ロック解除 41

11.4.11 デバイスのリセット.... 41

11.5 ディスプレイ 41

11.5.1 標準プロセス値の表示 41

11.5.2 更新レートと表示の回転 42

11.5.3 ディスプレイのスイッチオフ 42

11.6 診断・サービス機能 43

11.6.1 デバイス情報 43

11.6.2 [メモリ] 43

11.6.3 シミュレーション 44

12 トラブルシューティング.... 46

12.1 警告メッセージ 46

12.2 エラーメッセージ 47

13 メンテナンス・修理・廃棄 48

14 工場出荷時設定 49

1 はじめに（注意）

指示、技術データ、および詳細情報は、センサ/パッケージのQRコードを使用するか、www.ifm.comを参照してください。

1.1 表記の説明

√ 要件

操作指示

▷ 操作による反応・結果

太字 設定ボタン、表示等

→ リンクがない相互参照

リンクによる相互参照

重要事項 従わない

情報 補足事項

1.2 警告

警告は、負傷や物的損害をもたらすおそれがあることを示します。これに従って製品を安全に取扱ってください。警告は次のように区分されます。

警告

重度の負傷のおそれ

▷ 従わない場合は死亡または重傷を負う可能性があります。

注意

軽度または中程度の負傷のおそれ

▷ 従わない場合は軽傷または中程度の負傷を負う可能性があります。

注意

物的損害のおそれ

▷ 従わない場合は財産等へ損害を及ぼす可能性があります。

2 安全の為の注意

- ここで説明するセンサはシステムに組込まれるサブコンポーネントです。

• システムの安全責任は、システムの設計者にあります。

• システム設計者は危険性評価を実施し、システムのオペレータおよびユーザに提供される、法的および規範的要件に従って文書を作成することを請け負います。この文書には、オペレータ、ユーザ、および該当する場合はシステム設計者が承認したサービススタッフ向けの、すべての情報および安全の為の注意事項を記載する必要があります。

• 製品を取扱う前に本書をお読みになり、ご使用中は保管しておいてください。

• 製品がアプリケーションおよび環境条件に適していることを確認してください。
• 製品は意図された目的以外に使用しないでください。（→ 使用目的）
• 製品は許可される媒体以外に使用してはなりません。
• 使用上の注意や技術的な説明を無視した場合、物的および人的損害をもたらす恐れがあります。
• 製品を改造したりオペレータの使用法が不適切であったりしたために生じた結果について、当社は責任を負わず、また保証の対象外となります。
• 製品の取り付け、接続、設定および保守運用は知識をもった専門の方が行ってください。
• 製品とケーブルは損傷から保護してください。

2.1 サイバーセキュリティ

取付

本センサは、IEC 62443-1-1による制御機器のセキュリティ環境での動作に適合します。

本センサは、ファイアウォールの背後に配置できます。

▶ IEC 62443-1-1によるシステムのリスク評価を実施してください。

▶ 物理的なセキュリティ対策を行ってください。

操作方法

▶ 製品ドキュメントに記載のセキュリティ機能と使用に関する推奨事項を守ってください。

メンテナンス

▶ 社内で定められた内部変更管理プロセスに従い、システムの設定とデータをバックアップしてください。

廃棄

▶ 機密情報が漏洩しないようにしてください。
▶ センサは、必ず工場出荷時設定にシステムをリセットしてから廃棄してください。

3 運搬 取扱 保管

▶ 納品時と同じ包装で梱包して保管してください。
▶ 機器を倉庫などに保管する場合は、納品時と同じように包装・梱包し保管してください。
▶ 納品時の梱包を使用しない場合は、未使用の接続部に嵌合するコネクタや保護キャップを装着し、適切に包装・梱包し機器を保管してください。
▶ 機器の保存条件に従って保管してください（→テクニカルデータ）。

4 製品の用途

このセンサは液体を監視します。

瞬時流量（単位時間当たりの流量）・積算流量・媒体温度のプロセス値を検出します。

4.1 アプリケーション

次の特性を持つ導電性の液体:

• 導電率：≥20 μS/cm
• 粘度： <70\ mm²/s （cST）[40 °C時] <70\ cST at 104 °F

この製品はクラスA製品です。この製品は屋内での使用により無線妨害を生じることがあります。

▶ 必要に応じて、適切なEMCスクリーニング措置を取ってください。

欧州圧力機器指令 (PED): この装置は欧州圧力機器指令に適合し、「健全なエンジニアリングの実践」に従ってグループ2の液体向けに設計、製造されています。グループ1流体の媒体使用はご要望によります。

4.2 SM0510およびSM2130の注意事項

配管内の流量と圧力が高くなると、キャビテーションが発生する場合があります。キャビテーションが発生した状態でセンサを使用すると、圧力伝達部が損傷するおそれがあります。

▶ キャビテーションを抑制するようにし、キャビテーションの発生による制限を考慮して使用してください。(→ 技術データ)

5 機能

• センサは電磁誘導式の測定原理により体積流量を検出します。
• 追加の測定値として、媒体温度を検出します。
• このセンサはSIOモード（標準入出力）またはIO-Linkモードで動作できます。
• 現在のプロセス値を装置に表示します。
• センサはパラメータ設定に応じて2つの出力信号を出します。

5.1 出力OUT1で選択可能な機能

• 流量のスイッチング出力
• 流量の周波数出力
• スイッチング信号による積算
• パルス信号による積算
• 空検出のスイッチング信号
• IO-Link

5.2 出力OUT2で選択可能な機能

• 流量のスイッチング出力
• 温度のスイッチング出力
• 流量のアナログ出力
• 温度のアナログ出力
• 空検出のスイッチング信号
• 外部からの積算リセット用の入力

5.3 IO-Link

IO-Linkはインテリジェントなセンサやアクチュエータをオートメーションシステムに接続するための通信システムです。IO-LinkはIEC 61131-9規格で規格化されています。

IO-Linkに関する一般情報はio-link.ifmをご覧ください

Input Output Device Description (IODD) とすべてのパラメータ、プロセスデータ、デバイスの詳細な説明は、documentation.ifm.comをご覧ください。

IO-Linkには次のメリットがあります。

- すべてのデータとプロセス値を干渉なしで伝送

• 実行中のプロセス内でのパラメータ設定、またはアプリケーション外で事前設定
• システム内の接続された装置を特定するためのパラメータ
• その他のパラメータと診断機能
• デバイス交換時のパラメータセットの自動バックアップと復元（データ保存）
• パラメータセット、プロセス値、イベントのログ記録
• デバイス記述ファイル（IODD - Input Output Device Description）でプロジェクトの計画が容易
• 標準化された電気接続
• リモートメンテナンス

6 取付方法

注意

媒体の温度が50℃を超えると、ハウジングの温度が65℃以上になる場合があります。

▷ 火傷の危険があります。
▶ 外装が可燃物に接触したり、不測の接触が起きたりしたりすることを防ぐため、保護してください。
▶ 提供された警告ラベルをセンサケーブルに取り付けます。

注意

非接地の配管内（プラスチックの配管など）に取付ける場合は機能接地にはなりません。

▷ 動作機能が不完全になります。
▶ デバイスを接地してください。アクセサリとしてM12コネクター用の接地ブラケットをご用意しています。documentation.ifm.comを参照してください。

▶ システムに圧力がかかっていないことを確認してください。
▶ 取付時、設置個所から媒体が漏れないように行ってください。
▶ 配管内に付着物やガス・空気の滞留がないようにしてください。

気泡が入ると正しく測定できないことがあります。対策:

▶ 取付後、すすぎを行って通気します。すすぎ量 > 15 l/ min

6.1 压力接続口

Gねじ接続のセンサは、アダプタを使用して配管に取付けることができます。

アダプタは別売のアクセサリでご注文いただけます。

• 取付アクセサリの適合製品については、弊社ウェブサイトwww.ifm.comをご覧ください。
• ifm製のアダプタを使用した場合に限り、センサが正しく取付けられ接続の気密性を確保できます。

▶ 取付アクセサリの取扱注意事項を守ってください。

▶ センサと固定部の締付トルクに注意してください。

図 1: G ねじタイプのプロセス接続

1：配管
2: アダプタ
3：シール
4 : Gねじ

▶ プロセス接続部・アダプタ・センサのねじ山にグリスを塗ります。アプリケーションに適合するグリスを使用してください。
▶ 配管にアダプタをねじ込みます。
▶ パッキンを入れて流れ方向の表示を合わせてセンサを取付けます。
▶ センサにアダプタを手でしっかりねじ込みます。
▶ トルクレンチを使い、センサを挟んで向かい合う2つのアダプタをそれぞれ逆方向に30 Nmの締付トルクでしっかり固定します。

6.2 障害物

配管内の構造物、バルブ、リデューサなどが、センサの機能に影響することがあります。

▶ センサと干渉源との距離を守ってください。

センサのすぐ手前にシャットオフバルブや制御デバイスが配置されないようにしてください。

図 2: 直管部

D：配管外径

S：直管部

6.3 取付位置

▶ 測定配管内が常に満水状態になるようにセンサを取付けてください。
▶ 上昇管の手前か上昇管に取付けてください。（下図2および3）
▶ 空検出を最適に行うために、下図1のようにセンサを取付けてください。

図 3: 推奨取付位置F = 流れの方向

次の事項が保証される場合は、センサをどの方向にも取付けられます。

• 配管内に気泡が生じないこと。
• 配管が常に満水状態であること。

水平取付の場合：水平取付の場合は、ポンプを停止させても測定管に常に少量の媒体が残り流量値が表示されます。

6.3.1 推奨されない取付位置

• 出口が降下している配管
• 直接降下している配管

• 配管の吐出口の直前。

• ポンプの入口側

• 配管上で最も高い位置

7 接続方法

配線工事は、関連法令・規定に従って必ず法的有資格者が行ってください。

国内外の電気機器設置に関する法令を順守してください。

SELV、PELVに準拠の供給電圧を使用してください。

▶ 電源を切ります。
▶ センサを次のように接続します。

図 4: 結線図

ピン	接続
1	L+
3	L-
4 (OUT1)	流量のスイッチング出力流量の周波数出力スイッチング信号による積算パルス信号による積算空検出のスイッチング信号IO-Link
2 ( OUT2/InD )	流量のスイッチング出力温度のスイッチング出力流量のアナログ出力温度のアナログ出力空検出のスイッチング信号外部からの積算リセット用の入力

配線例：

1 : 2 x PNPスイッチング
3: 1 x PNPスイッチング、1 x アナログ

2: 2 x NPNスイッチング
4: 1 x NPNのスイッチング、1 x アナログ

8 操作部と表示部

図 5: 操作部と表示部

LEDインジケータの1～6は、表示されているプロセス値の単位を示します。7と8のLEDは、スイッチング出力のスイッチング状態を示します。

本体のボタンを使用して、センサの動作中に表示するプロセス値の変更ができます。

▶ 表示したい単位に変わるまで▶ ▲または▼を押し続けます。
▷ 表示が切り替わります。表示される値の単位のLEDインジケータが点灯します。
▷ 30秒後にセンサは標準の画面表示に戻ります。

①

②

③
図 6: 表示の変更例

1：標準表示：標準プロセス値の表示 ➡ 41、標準測定単位 ➡ 33
2：最後のリセット時までの積算流量
3：温度

積算流量は、最も精度の高い測定単位に自動的に換算して表示されます。

タイプ別LEDインジケータの表示内容：

SMxxx0
点灯状態のLEDインジケータ●:
1:	毎分瞬時流量(リットル)
2:	毎時瞬時流量(立方メートル)
3:	最後のリセットから現在までの積算流量(リットル)
4:	最後のリセットから現在までの積算流量(立方メートル)
4+6:	最後のリセットから現在までの積算流量(立方メートル × 103 )
5:	現在の媒体温度(°C)
点滅状態のLEDインジケータ※:
3:	最後のリセットまでの積算流量(リットル)
4:	最後のリセットまでの積算流量(立方メートル)
4+6:	最後のリセットまでの積算流量(立方メートル × 103 )

SMxxx1
点灯状態のLEDインジケータ●:
1:	毎分瞬時流量(ガロン)
2:	毎時瞬時流量(ガロン)
3:	最後のリセットから現在までの積算流量(ガロン)
3+5:	最後のリセットから現在までの積算流量( ガロン × 103 )
3+6:	最後のリセットから現在までの積算流量( ガロン × 106 )
4:	現在の媒体温度(°F)
点滅状態のLEDインジケータ●:
3:	最後のリセットまでの積算流量(ガロン)
3+5:	最後のリセットまでの積算流量( ガロン × 103 )
3+6:	最後のリセットまでの積算流量( ガロン × 106 )

9 メニュー

メニューが表示されている図は、センサ上でキー入力により設定できるパラメータを示しています。これらのパラメータとその他の機能は、IO-Linkインターフェースからも利用可能です。

図 7: メニュー構成

9.1 メインメニューとサブメニュー

表示されるパラメータは、工場出荷時設定が変更されている場合は変化します。次のメニュー表示は、最大の利用可能なパラメータを示します。
バラメータ設定ソフトウェアのパラメータ名が、センサディスプレイ上の名前と異なる場合があります。

メインメニュー:

パラメータ	説明
SPx	スイッチング出力OUTxのセットポイント(ヒステリシス)または上限値(ウィンドウ)
rPx	スイッチング出力OUTxのリセットポイント(ヒステリシス)または下限値(ウィンドウ)
FEP	周波数のエンドポイント = FrEPに設定されている周波数信号出力の上限測定値。
FrEP	測定の上限値(VMRまたはFEP)に到達した場合に出力される周波数信号。
ImPS	パルス値(=1パルスに相当する流量値)
ImPR	積算機能:パルス信号(ImPR=YES)またはスイッチング信号(ImPR=no)
OUx	出力OUTxの出力機能:Hno/Fno/Hnc/Fnc = スイッチング信号ヒステリシス / ウィンドウ、NO/NClmP = 積算機能(パルス信号またはスイッチング信号)dOU = スイッチング信号診断(液体検出)FRQ = 周波数信号I = アナログ信号4~20 mAU = 電圧信号0~10 VIn. D = 外部信号による積算リセット
ASP2	OUT2のアナログスタートポイント = 出力信号4mA(0V)のプロセス値。
AEP2	OUT2のアナログエンドポイント = 出力信号20mA(10V)のプロセス値。
DIn2	外部からの積算リセット用のリセット信号
EF	EF(拡張機能)サブメニューに変更

拡張機能メニューEF：

パラメータ	説明
rES	工場出荷時設定にリセット
rTo	積算リセットの設定(手動または時間制御)
CFG	サブメニューCFG(基本設定)に切替
MEM	MEM(メモリ)サブメニューに変更
EPD	サブメニューEPD(空検出)に変更
SIM	サブメニューSIM(シミュレーション)に変更

基本設定メニューCFG：

パラメータ	説明
FOUx	エラー時のOUT x の動作
dSt	流量監視の起動遅延時間
P-n	スイッチング出力の出力極性
dAP	ダンピング定数(秒)(立上がり時間 τ の63 %)
diS	流量表示単位設定
Uni	流量の標準測定単位
SELd	表示の標準プロセス値
SEL2	出力OUT2のプロセス値
LFC	低流量カットオフ(=流量が停止状態として評価される流量の限界値)
FPro	積算のカウント方法:流れ方向を加算
Fdir	流れの方向

メモリMEM・液体検出EPD・シミュレーションSIMメニュー：

パラメータ	説明
Hi. F	最大測定流量
Lo. F	最小測定流量
Hi. T	測定された最高温度値
Lo. T	測定された最低温度値
EP. On	空検出ON/OFF
dEP. E	空検出信号の遅延時間
dEP. F	満杯信号の遅延時間
EP. Pr	空検出の状態:EP. Pr = 200 %:満量EP. Pr = -100 %:空
S. FLW	シミュレーションモードでシミュレーションされた流量値
S. TMP	シミュレーションモードでシミュレーションされた温度値
S. Tim	シミュレーション時間(単位:分)
S. On	シミュレーションモードの開始

10 設定

電源投入してパワーオン遅延時間後、装置は通常の動作モードになります。測定および評価機能が実行され、設定されたパラメータに従って出力します。

起動遅延時間中は、設定したパラメータに応じて出力が以下の状態になります。

• ノーマルオープン（Hno / Fno）の場合ON
• ノーマルクローズ (Hnc / Fnc) の場合OFF
• 電流出力 (I) の場合20 mA
• 電圧出力（U）の場合10V

IO-Linkマスタの接続時にマスタのポートがIO-Linkモードに設定されている場合は、センサはSIOモード（標準I/O）からIO-Linkモードに自動的に切り替わります。

11 パラメータ設定

パラメータ設定はIO-Linkインターフェースから、またはセンサの操作要素から設定できます。

パラメータは設置前でも動作中でも設定できます。

動作中にパラメータを変更すると、機能に影響することがあります。

▶ 設備に異常がないことを確認してください。

パラメータの設定中、センサは動作モードのままです。パラメータ設定が完了するまで、従来のパラメータで監視を続行します。

メニューで利用可能なパラメータはパラメータ設定に応じて変化する場合があります。

11.1 センサキーからのパラメータ設定

注意

媒体の温度が50℃を超えると、外装部品は65℃を超える温度になることがあります。

▷ 火傷の危険があります
▶ センサを手で触らないでください。
▶ センサで設定を実施する際は、先の尖っていないもの（ボールペンなど）を使用してください。

パラメータ設定プロセス全般：

意図	アクション
プロセス表示からメインメニューに変更	●
サブメニューに変更	▼を使用してサブメニュー(EFなど)にナビゲートしてから、●
必要なパラメータの選択	▲または▼
設定モードに変更	●
パラメータ値の変更	▲または▼を1秒以上
設定したパラメータの承認	●
保存せずにパラメータ設定を終了	▲+▼
次に高いメニューに戻る(プロセス値表示に到達するには数回繰返し)	▲+▼
プロセス値表示に戻る	>30秒(タイムアウト)

パラメータ値を変更する時にLocが表示された場合は、センサのキーがロックされています。➡ ロック/ロック解除

S. Locが表示される場合は、センサがソフトウェアからロックされています。このロックはパラメータ設定ソフトウェアからのみ解除できます。

11.2 IO-Linkからのパラメータ設定

IO-Linkにより、次のような方法でパラメータを設定できます。

• ifm moneo|configure等のパラメータ設定ソフトウェアによるパラメータ設定
• PLCによるパラメータ設定
• IIoTアプリケーションによるパラメータ設定

IO-Linkによるパラメータ設定に必要なものは次の通りです。

√ パラメータ設定ソフトウェアからパラメータを設定する場合のデバイスデータ記述ファイル（IODD）は、documentation.ifm.comをご覧ください。
√ PLCまたはIloTアプリケーションからパラメータを設定する場合のIO-Link記述ファイル（PDF）は、documentation.ifm.comをご覧ください。
√ IO-Linkマスタ
▶ IO-Linkマスタをパラメータ設定ソフトウェア、PLCまたはIloTアプリケーションに接続します。
▶ センサをIO-Linkマスタの適切な未使用ポートに接続します。
▶ IO-LinkマスタのポートをIO-Link動作モードに設定します。
▷ センサがIO-Linkモードに変わります。
▶ ソフトウェアからパラメータの設定を変更します。
▶ パラメータの設定をデバイスに書込みます。

システム統合・IO-Linkによるパラメータ設定のサポート資料：

moneo等のパラメータ設定ソフトウェア→マニュアル

→ 説明とスタートアップパッケージについて ifm.com/cnt/io-link-system-integration

11.3 出力設定

この章では、OUT1とOUT2における出力信号用のオプションについて説明します。

11.3.1 限界値監視用のスイッチング信号

プロセス値監視用にスイッチング信号を出力できます。OUTxは、設定したスイッチングリミットを超過したり到達しなかったりした場合に、スイッチング状態が変化します。ヒステリシス機能とウインドウ機能から選択できます。

1: プロセス値

t: 時間

SP : セットポイント

rP : リセットポイント

HY : ヒステリシス

Hno : ヒステリシス機能 (ノーマルオープン)

Hnc : ヒステリシス機能 (ノーマルクローズ)

図 8: ヒステリシス機能

ヒステリシス機能を設定すると、スイッチポイントSPとリセットポイントrPが規定されます。rPの値は必ずSPの値より低くなります。スイッチポイントを変更すると、リセットポイントが自動的に変更されます。2つの値の差は常に一定になります。

1: プロセス値

t: 時間

SP : 上限值

rP : 下限值

HY : ヒステリシス

Fno : ウィンドウ機能 ( ノーマルオープン )

Fnc : ウィンドウ機能 (ノーマルクローズ)

図 9: ウインド機能

ウインドウ機能を設定すると、上限値SPと下限値rPが規定されます。SPとrPは、ヒステリシスが測定範囲の最終値の0.25％に固定されます。これにより、流量がわずかに変化しても出力のスイッチングが安定します。

操作ボタンによるパラメータ設定: スイッチング信号

√ 標準測定単位を選択します。: EF > CFG > Uni
√ OUT2のみ：プロセス値を選択します。: EF > CFG > SEL2
▶ メインメニューを開きます。

ヒステリシス機能：

▶ OUxを選択してスイッチング信号を設定します：HnoまたはHnc
▶ SPxを選択し、出力が切替わる測定値を設定します。
▶ rPxを選択し、出力が復帰する測定値を設定します。

ウインドウ機能：

▶ OUxを選択してスイッチング信号を設定します：FnoまたはFnc

▶ SPxを選択してウィンドウの上限値を設定します。
▶ rPxを選択してウィンドウの下限値を設定します。

11.3.2 アナログ信号

センサはプロセス値に比例したアナログ信号を出力します。

アナログ信号は、電流または電圧信号として出力できます。

測定範囲のアナログ信号は4～20mA（電流出力）または0～10V（電圧出力）です。

測定範囲のスケーリング: ASPおよびAEPは、測定範囲を限定することができます。

- ASP2は出力信号が4 mAまたは0 Vになる測定値を設定します。

- AEP2は出力信号が20 mAまたは10 Vになる測定値を設定します。

ASP2とAEP2の間の差は、最小で測定範囲の最終値の20%となります。

測定値が測定範囲外となる場合や内部エラーの場合は、次の図に示す電流または電圧信号を出力します。

表示範囲外の測定値、またはエラーの場合は、メッセージが表示されます（cr. UL、UL、OL、cr. OL、Err）。

図 10: IEC 60947-5-2に基づくアナログ出力特性

1：アナログ信号 MAW：測定範囲の最小値
2: 測定値 (Q : FLOWまたはT : TEMP) MEW : 測定範囲の最大値
3：検出範囲 ASP：アナログスタートポイント
4：表示範囲 AEP：アナログエンドポイント

5：測定範囲

UL：表示範囲未満

6：スケーリングの測定範囲

cr. UL：検出範囲未満

OL：表示範囲超過

cr. OL：檢出範囲超過

流量値が負の場合は、流れ方向 ➡ 38がFdirの設定とは逆であることを示します。

エラー時のアナログ信号の動作を、FOUxのパラメータから設定できます。：出力のエラー動作 → 34.

本体ボタンによるパラメータ設定：アナログ信号

√ 標準測定単位が選択されています：EF > CFG > Uni。
√ OUT2はプロセス値が選択されています：EF > CFG > SEL2。

▶ メインメニューを呼出します。

▶ OU2を選択してアナログ信号を設定します：I（4～20 mA）またはU（0～10 V）
▶ ASP2を選択して最小の電流値または電圧値が得られる測定値を設定します。
▶ AEP2を選択して最大の電流値または電圧値が得られる測定値を設定します。

11.3.3 周波数出力

センサはプロセス値に比例した周波数信号を出力します。

工場出荷時設定の周波数信号の測定範囲は0～1 kHzです。

周波数信号のスケーリング: FrEPを使用して、周波数信号の上限値が変更できます。

測定範囲のスケーリング: FEPを使用して、測定範囲の上限値を下げることができます。

測定値が測定範囲外となる場合や内部エラーの場合は、次の図に示す周波数信号を出力します。

測定値が表示範囲外にある場合やエラーの場合は、メッセージが表示されます。（OL、Err）

图 11: 周波数出力特性

1：周波数信号* MAW：測定範囲の最小値
2：流量 MEW：測定範囲の最大値
3：表示範囲 FEP：周波数エンドポイント
4：測定範囲 FrEP：上限測定値の周波数信号（Hz）
5：スケーリングされた測定範囲 OL：表示範囲超過

*周波数信号（Hz）。参照値はFrEPの設定値です。工場出荷時設定は、FrEP=1kHz=100%となります。

本体ボタンによるパラメータ設定：周波数出力

√ 標準測定単位が選択されています：EF > CFG > Uni。
▶ メインメニューを呼出します。
▶ OU1を選択してFRQに設定します。
▶ FEPを選択して測定範囲の上限値を設定します。
▶ FrEPを選択して周波数信号の上限値を設定します。

11.3.4 積算流量の監視（積算機能）

センサは積算機能を搭載しています。この機能により、連続する流量を合計した累積プロセス値をディスプレイに表示しIO-Linkで伝送します。

現在の積算流量に加えて、前回のリセット前の値が保存されます。この値と前回のリセット後の時間も表示できます。

→ 積算流量の表示：操作部と表示部 → 16。

積算のリセットは自動または手動で操作できます。

→ 積算リセット → 39.

積算機能は累積の流量を10分間隔で保存します。停電後は現在の流量値からこの値が分かります。一定の時間間隔でリセットを設定すると、リセット間隔の経過時間も保存されます。そのため、データが消滅する可能性は最大10分間です。

積算流量は、流れ方向を含めて消費量の合計を計算します。

1. 流れの方向 ➡ 38。
2. 積算流量のカウント設定 → 38。
3. 低流量カットオフ ➞ 37。

スイッチング信号またはパルス信号を出力して積算流量を監視することができます。

→ スイッチング信号による積算流量の監視 ➡ 31
→ パルス信号による積算流量の監視 → 32

11.3.4.1 スイッチング信号による積算流量の監視

スイッチング信号を出力して積算流量を監視することができます。

積算がImPSで設定した累積流量に到達すると、スイッチング信号を出力します。

積算をリセットするまで、出力はON状態を継続します。積算をリセットすると、新しく測定を開始します。

積算のリセットは自動または手動で操作できます。

積算のリセットとスイッチング信号の条件は、rToから設定できます。

- rTo = OFF :

• 積算流量は、マニュアル操作またはオーバーフロー後にのみリセットされます。
• 積算流量が ImPSの流量に達すると、出力が切り替わります。

- rTo = ...h / d / w (時 / 日 / 週) :

• ▷ 設定時間の経過後、積算が自動的にリセットされます。
• 積算流量が設定した時間内に ImPSの流量に達した場合のみ、出力が切り替わります。

積算流量は手動またはピン2の外部信号よりリセットできます ➡ 39。

操作ボタンによるパラメータ設定: スイッチング信号による積算流量の監視

√ 標準測定単位が選択されています：EF > CFG > Uni。

▶ メインメニューを呼出します。
▶ OU1を選択して<、ImPを設定します。
▶ ImPSを選択して出力がスイッチングする流量を設定します。
- ▲または▼を押して設定範囲を選択します。

• ●を短時間押して設定範囲を確定します。
• ▲または▼を押して必要な数値を設定します。
• ●を短時間押して値を適用します。

LEDのインジケータと「cccc」の4桁の小数点の位置によって設定範囲を表示します。

▶ ImPRを選択してNoを設定します。

11.3.4.2 パルス信号による積算流量の監視

パルス信号を出力して積算流量を監視することができます。

ImPSに設定した積算流量（パルス値）に到達するたびに、パルス信号が出力されます。

パルス信号は出力を短時間でスイッチオン/オフすることで構成されます。センサのスイッチング状態LEDはスイッチング動作を表示しません。

パルス信号はIO-Linkインターフェースからは利用できません。

操作ボタンによるパラメータ設定：パルス信号による積算流量の監視

√ 標準測定単位が選択されています：EF > CFG > Uni。
▶ メインメニューを呼出します。
▶ ImPSを選択して1パルスを出力する流量（パルス値）を設定します。
- ▲または▼を押して設定範囲を選択します。
- ●を短時間押して設定範囲を確定します。
- ▲または▼を押して必要な数値を設定します。
- ●を短時間押して値を適用します。

LEDのインジケータと「cccc」の4桁の小数点の位置によって設定範囲を表示します。

▶ ImPRを選択してYESを設定します。

11.3.5 空検出のスイッチング信号

センサは、両方の電極が媒体で濡れていないことを検出すると、配管が空であると認識します。

OUTxを診断出力に使用すると、センサはスイッチング信号により空検出を通知してSEnSを表示し、流量が0に設定されます。

液体検出の設定は有効または無効にすることができます。

- EP. On = OFF :

液体検出が無効

- EP. On = On

液体検出が有効

液体検出の遅延時間を設定できます。

11.3.5.1 操作ボタンによるパラメータ設定：空検出

▶ メインメニューを呼出します。
▶ OUxを選択してdOUに設定します。
▶ EF > EPDメニューに移動します。
▶ EP. Onを選択し、Onを設定します。
▶ dEP. Eを選択して空検出のスイッチング信号の遅延時間を設定します。
▶ dEP. Fを選択して満検出のスイッチング信号の遅延時間を設定します。

空検出の現在値の表示:

▶ EF > EPDメニューに移動します。
▶ EP. Prを選択して値を読取ります。（中間値は表示されません）

- 200% = 滿量

-100% = 空

11.4 アプリケーション設定

11.4.1 標準測定単位

プロセス値がデフォルトでディスプレイに表示される測定単位を選択できます。その他のすべてのパラメータ設定は、この単位に基づきます。

単位を変更した場合、常にSI単位で伝送されるIO-Linkのプロセス値に影響はありません。

選択可能な値：

• SMxxx0のUni : l/min、m³/h
• SMxxx1のUni : gpm、gph

▶ 測定単位を設定してから、パラメータを設定します。

操作ボタンによるパラメータ設定：標準測定単位

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ Uniを選択して流量の測定単位を設定します。

11.4.2 出力のエラー動作

障害の場合のOUTx出力の反応は、パラメータFOUxで設定できます。選択した出力機能に応じて、障害の場合に次の信号が出力されます：

- スイッチング出力：

• On：障害の場合に出力がオンになります。
• OFF：障害の場合に出力がオフになります。
• OU：障害に関係なくパラメータで設定した通りに出力が切り替わります。

- アナログ信号：

• On：アナログ信号は上限値になります。
• OFF：アナログ信号は下限値になります。
• OU：アナログ信号は測定値に一致します。

- 周波数出力：

• On：周波数信号はFrP1の130%になります。
• OFF：周波数信号は0 Hzになります。
• OU：周波数信号は測定値に対応します。

FOUxは、消費量の監視で使用できません。障害の場合も、設定した流量に到達するとスイッチング信号またはパルス信号が出力されます。

センサキーからのパラメータ設定：出力のエラー動作

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ FOUxを選択して、OUTxのエラー動作を設定します：On、OFF、OU。

11.4.3 起動遲延時間

起動遅延時間dStは、流量監視のスイッチング出力を制御します。

起動遅延時間が有効（dSt＞0）の場合：流量がLFC値 ➞ 37を超え多場合に直ちに次のプロセスを実行：

• 出力遅延時間が有効になります。
• 出力は設定に従ってスイッチングします。NO機能の場合はON、NC機能の場合はOFF。

出力遅延が有効になった後、3つのオプションがあります。

	状態	反応
1:	流量が急増し、スイッチポイント/dStの許容範囲内に到達。	出力はオンの状態を維持。
2:	流量が次第に増加し、スイッチポイント/dStの許容範囲内に到達しない。	出力がリセットされる。
3:	流量がdStの範囲内でLFC未満。	出力が直ちにリセットされる。dStが停止。

例：ヒステリシスの流量監視

	状態	反応
1:	流量QがLFCに到達	dStが開始、出力がオンになる
2:	dStを経過、QはSPに到達	出力はオンの状態を維持
3:	QはSP未満でrPより上を維持	出力はオンの状態を維持
4:	QはrP未満	出力がリセットされる
5:	Qが再度LFCに到達	dStが開始、出力がオンになる
6:	dStを経過、QはSPに到達しない	出力がリセットされる
7:	QがSPに到達	出力がオンになる

例：ウィンドウの流量監視

	状態	反応
1:	流量QがLFCに到達	dStが開始、出力がオンになる
2:	dStが経過、Qは許容範囲に到達しない	出力はオンの状態を維持
3:	QがSPを超過(許容範囲外)	出力がリセットされる
4:	Qが再度SPより低くなる	出力がオンになる
5	QがrP未満に低下(許容範囲外)	出力がリセットされる
6	Qが再度LFCに到達	dStが開始、出力がオンになる
7	dStが経過、Qは許容範囲に到達しない	出力がリセットされる
8	Qが許容範囲に到達	出力がオンになる

操作ボタンによるパラメータ設定：起動遅延時間

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ dStを選択して起動遅延時間を秒で設定します。

11.4.4 スイッチング出力の出力極性

出力極性はP-nのパラメータから設定します。

設定は両方のスイッチング出力に影響します。

• PnP : PNPスイッチング出力
• nPn : NPNスイッチング出力

センサキーからのパラメータ設定：出力極性

▶ メニューEF > CFGを呼出します。

▶ P-nを選択し、PnPまたはnPnを設定します。

11.4.5 ダンピング

ダンピング定数を設定することにより、出力信号が安定します。物理的なプロセス値が急激に変化しても、調整された出力になります。

これは、出力、表示、IO-Linkで伝送されるプロセス値に関係します。

ダンピング定数dAPにより、測定値が急激に変化した場合に、出力信号が最大値の63％に何秒後に達するかを設定できます。

ダンピング定数によりセンサの応答性が遅くなります。（→技術データ）

信号UL、cr. UL、OL、cr. OLは、ダンピング定数を考慮した設定になります。

ダンピングが測定値に影響するのは、流量のプロセス値のみです。

操作ボタンによるパラメータ設定：ダンピング

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ dAPを選択してダンピング定数を秒で設定します（τ値63%）。

11.4.6 低流量カットオフ

流量が低い場合は、パラメータLFC（Low flow cut-off）を使用して無視することができます。LFC値未満の流量は、センサにより停止（Q = 0）と判断されます。

LFC値は次の項目に影響します。

• ディスプレイの流量値表示
• 流量のスイッチング信号
• 流量のアナログ信号
• 流量の周波数信号
• 消費量の監視（流量のスイッチング/パルス信号）
• 積算流量による消費量の合計
• 流量の最小・最大メモリ値

図 12: 低流量カットオフ
+LFC：正方向に流れる最小流量
-LFC：負方向に流れる最小流量
1: 流量がない停止状態として診断

センサキーによるパラメータ設定: 低流量カットオフ

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ LFCを選択して、限界値を設定します。限界値を下回ると、流量が停止状態として評価されます。

11.4.7 流れの方向

流れの正方向は設定することができます。積算流量の監視も、この設定が影響します。→38

センサに表示される「flow direction」（流れ方向）のテキストと矢印が、正方向の流れを表します（工場出荷時設定）。流速測定の方向を、Fdirのパラメータにより逆方向に変更できます。

Fdir	流れの方向
+	工場出荷時設定の流れの方向
-	工場出荷時設定の逆流方向

センサキーによるパラメータ設定: 流れの方向

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ Fdirを選択し、媒体の流れの方向を設定します。

11.4.8 積算流量のカウント設定

積算流量の計測は、流れの方向が影響します。→38

FProのパラメータにより、カウント方法を設定できます。

FPro	カウント方法
0+	負の流量値(記号と逆方向の流れ)が積算流量に含まれない
-+	負の流量値(記号と逆方向の流れ)が積算流量から減算される

カウント方法は、積算流量監視の出力信号に影響します。

→ 積算流量の監視（積算機能）→ 30

カウント方法 0+

カウント方法 - +
図 13: 流れ方向を含む積算流量の合計

+Q：正方向の流量

-Q：負方向の流量

V: 流量の絶対値 (=負と正の合計流量)

1：負方向に流量が変化

2: 正方向に流量が変化

3：流れ方向を含む積算流量

流れの方向が変化するとき、最低流量LFCが考慮されます。

→ 低流量カットオフの設定 → 38

操作ボタンによるパラメータ設定：積算流量のカウント設定

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ FProを選択して積算流量のカウント方法を設定します。

11.4.9 積算リセット

積算リセットは次の方法で行います。

リセットのタイプ		パラメータ
1.	マニュアルリセット	• rTo = rES. T
2.	時間制御によるリセット	• rTo =- ... h = 時- ... d = 日- ... w = 週
3.	外部信号によるリセット	OU2 = In. DDIn2:- +EDG = 立上りエッジでリセット- -EDG = 立下りエッジでリセットHIGH = highの信号でリセットLOW = lowの信号でリセット
4.	オーバーフローによるリセット(最大表示範囲に到達)	rTo = OFF

上記のいずれかの方法で積算流量をリセットすると、消費量監視の出力もリセットされます。

→ スイッチング信号による積算流量の監視 → 31。

センサキーによるパラメータ設定: 積算リセット

1. 手動リセット：

▶ EFメニューを選択します。
▶ rTo を選択してrES. Tを設定します。
▷ 積算流量がリセットされます。

2. 時間制御によるリセット：

▶ EFメニューを選択します。
▶ rToを選択し、時間を週（w）・日（d）・時間（h）の単位で設定します。
▷ 設定時間の経過後、積算が自動的にリセットされます。

3. 外部信号によるリセット：

▶ メインメニューを呼出します。
▶ OU2を選択してデジタル入力を設定します。: In. D。
▶ DIn2を選択し、リセット信号を設定します：HIGH、LOW、+EDG、-EDG。
▷ ピン2からリセット信号を受信すると、積算流量がリセットされます。

4.オーバーフローによるリセット：

▶ EFメニューを選択します。
▶ rToを選択してOFFに設定します。
▷ 最大表示範囲を超過すると、直ちに積算計がリセットされます。

11.4.10 ロック/ロック解除

この製品は意図しない設定が行なわれるのを予防するため、電子的にロックできます。

このロックにより、装置上のキーから設定を変更できなくなります。

工場出荷時の設定：アンロック

センサキーによるパラメータ設定: ロック/ロック解除

ロック：

▶ センサが通常の動作モードにあることを確認してください。
▶ Locが表示されるまで、▲と▼を同時に10秒間押します。

ロック解除：

▶ センサが通常の動作モードにあることを確認してください。
▶ uLocが表示されるまで、▲と▼を同時に10秒間押します。

11.4.11 デバイスのリセット

センサは工場出荷時の設定にリセットできます。

リセットを実行する前に、工場出荷時設定の章の、ご使用の設定値を記録することを推奨します。

センサキーからのパラメータ設定：デバイスのリセット

▶ EFメニューを選択します。

▶ rESを選択します。

▶ ●を短く押します。

▶ ▲または▼を押し続けます。

▷ ----と表示されます。

▶ ●を短く押します。

▷ デバイスがリブートを実行します。

11.5 ディスプレイ

11.5.1 標準プロセス値の表示

SELdパラメータを使用して、デフォルトでどのプロセス値がディスプレイに表示されるかを選択します。

選択可能な値：

• FLOW：現在の流量のプロセス値を示します。
• TEMP：現在の温度のプロセス値を示します。
• TOTL：現在の積算流量のカウント値を示します。

積算流量は、最も精度の高い測定単位に自動的に換算して表示されます。

センサキーからのパラメータ設定：標準プロセス値の表示

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ SELdを選択して標準プロセス値を設定します。

11.5.2 更新レートと表示の回転

表示の更新頻度と方向は、diSのパラメータから設定できます。

回転と更新レートは同じパラメータで設定します。

選択可能な値：

• d1: 更新レートd1(早)で0°回転
• d2：更新レートd2（中）で0°回転
• d3：更新レートd3（遅）で0°回転
• rd1：更新レートd1（早）で180°回転
• rd2：更新レートd2（中）で180°回転
• rd3：更新レートd3（遅）で180°回転

センサキーからのパラメータ設定：ディスプレイの更新レート

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ diSを選択して更新レートを設定します。

11.5.3 ディスプレイのスイッチオフ

プロセス値表示は、動作モードで永続的にオフにできます。

キーを押すとディスプレイがオンになります。操作がない場合、ディスプレイは数秒後再びオフになります。

表示機能がOFFでもLEDは有効なままです。表示機能がOFFでもエラーメッセージは表示されます。

センサキーからのパラメータ設定：ディスプレイオフ

▶ メニューEF > CFGを呼出します。
▶ diSを選択し、OFFを設定します。

11.6 診断 サービス機能

11.6.1 デバイス情報

デバイス情報（変更不可）が装置に保存されています。次の項目を取り上げています。

• 製品名
• 製品ID
- シリアル番号
- ハードウェアリビジョン
- ソフトウェアリビジョン

また、アプリケーション固有タグ（最大32文字）で自由に定義し、センサに割り当てることができます。

これはIO-Link専用の機能です。

11.6.2 [メモリ]

センサはプロセスの最大および最小測定値を保存しています。

現在の値は装置の表示またはIO-Linkインターフェースから読取ることができます。

選択可能な値：

• Lo. F: 最小流量値のメモリ
• Hi. F: 最大流量値のメモリ
• Lo. T：温度の最小記録値
• Hi. T：温度の最大記録値

保存した値はIO-Linkからのみリセットできます。

最初に装置を通常の動作モードで運転した場合、すぐにメモリを消去することを推奨します。

センサキーからのパラメータ設定：[メモリ]

メモリの表示：

▶ EF > MEMメニューに移動します。
▶ LO.xまたはHI.xを選択して測定値の最大値や最小値を表示します。

メモリのクリア：

▶ EF > MEMメニューに移動します。
▶ LO.xまたはHI.xを選択します。
▶ ●を短く押します。
▶ ▲または▼を長押しします。
▷ ----が表示されます。
▶ ●を短く押します。

最初に装置を通常の動作モードで運転した場合、すぐにメモリを消去することを推奨します。

11.6.3 シミュレーション

この機能によりプロセス値をシミュレーションして信号パスを検証します。

測定値をシミュレーションすることにより、エラーメッセージや警告の原因を見つけることができます。（例：OL）

シミュレーションが開始されると、積算計の値は保持され、シミュレーションされた積算計は0に設定されます。その後、シミュレーションされる流量値はシミュレーションされる積算器に影響を与えるようになります。シミュレーションが終了すると、積算器の初期値がリストアされます。

シミュレーション実行中：

• シミュレーションは現在の測定値には影響しません。出力は前に設定したように機能します。
• 実際には流量がある場合でも、積算計の元の値は変化せずに保存されます。
• 現在のアプリケーションのエラーメッセージは利用できません。シミュレーションによって抑制されます。

シミュレーションが可能な値：

流量・温度・UL（表示範囲未満）・OL（表示範囲超過）・Err（エラー）・SENS（空検出）

センサキーによるパラメータ設定: simulation

▶ EF > SIMメニューに移動します。
▶ S. FLWを選択してシミュレーションする流量値を設定します。（UL、OL、Err、SENS）

▶ S. TMPを選択してシミュレーションする温度値を設定します。（UL、OL、Err）
▶ S. Timを選択してシミュレーション時間を分単位で設定します。
▶ S. Onを選択して機能を設定します：
- On: シミュレーション開始。S. Timで設定した時間、値がシミュレーションされます。任意のキーを押すと中止します。
- OFF: シミュレーションは無効です。

12 トラブルシューティング

センサは自己診断機能を搭載しています。センサが自身の動作を自動的に監視します。

表示オフになっていても、警告とエラーの状態が表示されます。

複数の診断イベントが同時に発生した場合は、優先度が最も高いイベントの診断メッセージのみが表示されます。

12.1 警告メッセージ

表示	原因/対策
SEnS	センサ信号が無効です。測定配管に十分な量の媒体がありません。▶ 取付位置を確認します。(取付⊖の章)媒体の導電率が低すぎます。▶ 媒体の導電率を確認します。(≥20 μS/cm)
Loc	センサの設定キーがロックされています。パラメータの変更は拒否されます。▶ センサのキーを使用してセンサをロック解除します。
C. Loc	センサの設定ボタンが一時的にロックされ、IO-Link通信経由のパラメータ設定が有効です。▶ IO-Linkからのパラメータ設定を終了してください。
S. Loc	設定キーがパラメータ設定ソフトウェアによりロックされています。パラメータの変更は拒否されます。▶ パラメータ設定ソフトウェアを使用して、IO-Linkインターフェースからセンサのロックを解除します。
OL	表示範囲より高くなっています。▶ 測定範囲を確認します。
UL	表示範囲より低くなっています。▶ 測定範囲を確認します。
SC1	OUT1のスイッチング状態LEDが点滅OUT1で短絡▶ スイッチング出力OU1に短絡または過剰な電流がないか確認します。
SC2	OUT2のスイッチング状態LEDが点滅OUT2で短絡▶ スイッチング出力OUT2に短絡または過剰な電流がないか確認します。
SC	OUT1およびOUT2のスイッチング状態LEDが点滅OUT1とOUT2で短絡。▶ スイッチング出力OUT1とOUT2に短絡または過剰な電流がないか確認してください。

12.2 エラーメッセージ

表示	問題/対策
IOE.n	誤動作。センサに欠陥があります。▶ センサを交換してください。
ディスプレイオフ	電源電圧が低すぎます。▶ 電源電圧を確認してください。ディスプレイスイッチOFF。▶ diS = OFFであるかどうかを確認し、必要に応じて設定を変更してください。
cr. OL	測定範囲より高くなっています。▶ 測定範囲を確認します。
cr. UL	測定範囲より低くなっています。▶ 測定範囲を確認します。
PARA	パラメータ設定が有効範囲外です。▶ パラメータ設定を確認します。

表示・検出範囲について：アナログ信号 ➡ 28.

13 メンテナンス 修理 廃棄

正しくご使用している場合、メンテナンスは必要ありません。

製造業者だけが、この製品の修理を許されています。

▶ 使用済みのセンサを廃棄する場合は、自治体の法令に従って処分してください。

14 工場出荷時設定

パラメータ	工場出荷時設定		ユーザー設定
	SMxxx0:	SMxxx1:
SP1	20 % MEW	20 % MEW
rP1	19.5 % MEW	19.5 % MEW
ImPS	0.1	0.02
ImPR	YES	YES
OU1	Hno	Hno
OU2	I	I
SP2 (FLOW)	40 % MEW	40 % MEW
rP2 (FLOW)	39.5 % MEW	39.5 % MEW
SP2 (TEMP)	20 °C	68 °F
rP2 (TEMP)	19.6 °C	67.3 °F
ASP2 (FLOW)	0 % MEW	0 % MEW
AEP2 (FLOW)	100 % MEW	100 % MEW
ASP2 (TEMP)	-20 °C	-4 °F
AEP2 (TEMP)	80 °C	176 °F
FEP	100 % MEW	100 % MEW
FrEP	1 kHz	1 kHz
FDir	+	+
FPro	- +	- +
LFC	5 l/min	1.1 gpm
DIn2	+EDG	+EDG
FOU1	OFF	OFF
FOU2	OFF	OFF
dSt	0	0
P-n	PnP	PnP
dAP	0.6s	0.6s
rTo	OFF	OFF
diS	d2	d2
Uni	Lmin	gpm
SELd	FLOW	FLOW
SEL2	FLOW	FLOW
EP. OndEP. E	OFF0 s	OFF0 s
dEP. F	2 s	2 s
S. FLW	20%	20%
S. TMP	20 °C	68 °F
S. Tim	3 min	3 min

MEW=測定範囲の最大値(フルスケール)